全球半导体设备龙头中，ASML、百瑞赢可靠Lam Research、TEL、Teradyne、Advantest等陆续公布一季报，作为半导体设备行业先行指标之一，ASML光刻机订单环比增长28%，同比增长120%；Lam Research也表示年内设备需求保持旺盛，百瑞赢可靠先进制程战略性投资刚性。国内中微、北方华创等也陆续公布年报一季报，工艺设备逐渐成为公司业绩主要增长点，而精测电子、中科信、芯源微等的工艺设备在2019年前后获得零的突破，凸显半导体设备国产化进程加快及全面突破趋势。

　　先进制程属于战略性投资，TSMC暂不调整资本开支计划。尽管疫情影响下游需求，但TSMC 2020年3月实现营收新台币1,135亿元，环比增长21.5%，同比增长42.4%，一季度收入新台币3,106亿元，同比增长42.0%，并维持2020年预算资本开支150-160亿美元，主要用于7nm扩产、5nm建产以及3nm研发。

　　部分国际设备龙头一季度收入整体因物流受影响而环比下滑，但同比增长7%。我们统计已公布四季报的全球半导体设备上市企业，一季度收入环比下降14%，结束过去两个季度环比正增长趋势，但ASML表示因疫情影响的交付或收入确认将大概率计入二、三季度，全年业绩预期仍然较好，其中工艺设备ASML季度收入环比大幅下降，而TEL季度收入环比增长9%，Lam Research环比小幅下滑3%；两家半导体测试龙头一季度收入合计13.3亿美元，环比增长3%，同比增长30%。

　　Memory客户贡献的设备收入占比略有回升。据ASML、Lam Research、TEL数据统计，今年一季度Memory客户贡献的设备收入比重从最高77%经历7个季度下降至34%后首次回升至41%。其中ASML一季度收人中有73%来自Logic/Foundry客户，27%来自Memory客户，较上个季度提升10个百分点；而Lam Research收入中，Memory客户贡献收入比重从上个季度的52%上升至56%。Memory客户贡献收入比重回升，主要表明三星、海力士等加快Dram制程转换和中国大陆存储厂商扩产计划的有力执行。

　　ASML一季度收入来自中国大陆的比例大幅上升，Lam Research在中国大陆实现的销售收入创历史新高。一季度来自中国大陆的ASML光刻机销售收入3.34亿美元，占比19%，较上个季度回升5个百分点。Lam Research在中国大陆实现的销售收入也达到8亿美元，创历史最高记录，收入占比达到32%，最主要原因是Lam Research在我国本土晶圆厂的刻蚀设备供应商中稳居行业第一，百瑞赢可靠且随着YMTC迈向128nm以及SMIC迈向14nm以下先进制程建产，Lam Research受益于硅基刻蚀和HAR介质刻蚀的需求弹性。百瑞赢可靠

　　北方华创、中微等业务结构优化，工艺设备高增长或取得零的突破。北方华创2019年收入中，半导体设备平台北方微实现收入26亿元同比增长30%，而中微半导体2019年刻蚀设备收入估计同比增长30%以上，盛美半导体收入增长44%，IC设备收入占比显著提升，是带动公司整体收入增长的主要因素。同时，根据中国国际招标网，国产设备上海精测半导体、华海清科、屹唐半导体、沈阳拓荆等在今年一季度均收获重复订单。

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